【作者】：鐘????，朱靜

       【單位】：清華大學材料與工程系電子顯微鏡實驗室，北京 100084

       【摘要】：

        本工作以有序Ni3Fe樣品的電子能量損失譜EELS(electron energy loss spectroscopy)的采集、處理和分析為例，敘述了內置（Ω型）與后置能量過濾器在采集和處理電子能量損失譜的工作原理、處理步驟以及注意要點。實驗結果表明：在采集譜圖過程中，內置Ω型能量過濾器零峰非常穩(wěn)定，后置GIF(gatan image filter)能量過濾器可以節(jié)約采集過程中處理譜圖的時間。在處理譜圖時發(fā)現，利用Ω型能量過濾器采集的電子能量損失譜中譜圖的背底曲線與理論擬合結果偏差很大；本文提出了通過數據處理給出的校正因子可以很好地彌補這一偏差。由于Ω型能量過濾器的物距較小，常伴隨有衍射點在零峰附近，所以無論樣品厚度如何，由Ω型能量過濾器采集的電子能量損失譜必須扣除多重散射的影響。