【作者】：何光宏 ，張志津2，彭光含3，白海會1，楊學恒1

       【單位】：1重慶大學數(shù)理學院，重慶 400044；2 天津商學院，天津 300134；3 湖南文理學院物電系，湖南 常德 415000

       【摘要】：

        原子力顯微鏡由于不受物質(zhì)導(dǎo)電性的限制，已經(jīng)成為納米檢測和加工的重要手段之一。本文介紹了根據(jù)隧道效應(yīng)檢測原子力顯微鏡微懸臂位移的原理自制的原子力顯微鏡的系統(tǒng)組成，重點講述了鏡體結(jié)構(gòu)及特點，測試結(jié)果表明該儀器具有原子量級的分辨率。最后還給出了用該原子力顯微鏡檢測到的幾幅效果很好的物體的三維表面形貌圖。