同其他結(jié)構(gòu)表征手段相比，電子顯微學(xué)具有以下幾個(gè)方面的優(yōu)點(diǎn)

一、 散射能力強(qiáng)： 

二、 原子對(duì)電子的散射能量遠(yuǎn)大于X－射線的散射能力：

 即使是微小晶粒（納米晶體）亦可給出足夠強(qiáng)的衍射

 動(dòng)力學(xué)衍射和吸收強(qiáng)，只能穿透薄樣品

三、 波長(zhǎng)短： 

 Ewald球半徑大，衍射圖有如一個(gè)倒易點(diǎn)陣平面

 直觀，容易發(fā)生新衍射現(xiàn)象

 d值精度差

四、 束斑可聚焦：

 會(huì)聚束衍射（納米束衍射），可獲得三維衍射信息，有利于分析點(diǎn)群、空間群對(duì)稱性；

 局域結(jié)構(gòu)

五、 成像：正空間信息：

 直接觀察結(jié)構(gòu)缺陷

 直接觀察原子團(tuán)（結(jié)構(gòu)像）

 直接觀察原子（原子像），包括Z襯度像

六、  衍射：倒空間信息：

 選擇衍射成像（衍襯像），獲得明場(chǎng)、暗場(chǎng)像有利結(jié)構(gòu)缺陷分析

 從結(jié)構(gòu)像可能推出相位信息

七、  成分分析：微區(qū)分析

 X射線能譜分析（EDS）

 特征電子能量損失譜（EELS）

 元素分布像（Element Mapping） 

八、 電子全息：

 電子波全部信息（相位和振幅）

 微觀電場(chǎng)、磁場(chǎng)分布

 微觀應(yīng)力場(chǎng)分布

九、 全部分析結(jié)果的數(shù)字化：

 數(shù)據(jù)數(shù)字化，便于計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)與處理，與信息平臺(tái)接軌

電子顯微學(xué)不僅是X射線晶體學(xué)的強(qiáng)有力補(bǔ)充，特別適合微晶、薄膜等顯微結(jié)構(gòu)分析，對(duì)于局域微結(jié)構(gòu)分析、尤其是納米結(jié)構(gòu)分析具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)